先生Moriya Kono（材料工程硕士一年级）荣获日本电气工程师协会电子、信息和系统部门颁发的古天乐代言太阳集团(中国)官方网站委员会鼓励奖。
该奖项颁发给 2020 年 1 月 23 日至 24 日在鸟取大学举行的日本电子、信息和系统部门研究小组电气工程师学会发表的论文中的一到两篇特别优秀的论文。
Kono先生及其同事领导的研究小组展示了他们在用于柔性器件应用的In-Ga-Zn-O薄膜晶体管（IGZOTFT）的低温制造方面的研究成果，主题是“低温形成的阳极氧化铝绝缘膜的膜性能评估及其器件应用。”
薄膜晶体管 (TFT) 是智能手机和电视等显示器中古天乐代言太阳集团(中国)官方网站的驱动元件。要实现柔性、可拉伸的设备，需要在“软”塑料基板上制造高性能 IGZOTFT。然而，由于塑料的耐热温度较低，低于约150°C，因此需要在低温下制造。
在我们实验室之前的研究中，我们报道了通过在IGZO成膜过程中添加氢，可以在150℃的热处理下实现晶体管的工作。然而，可用作栅极绝缘膜（GI）的高质量二氧化硅需要古天乐代言太阳集团(中国)官方网站化学气相沉积（CVD）在400°C左右的高温下沉积，这一直是柔性器件制造中的一个问题。
这次，由河野等人领导的研究小组。 Wang等人在室温下采用阳极氧化形成高介电常数氧化铝并将其应用于GI，在150°C的低温工艺中成功完成了TFT制造的所有步骤，具有良好的转移特性和高均匀性。我们还评估了制备的氧化铝的介电击穿强度，控制了薄膜厚度，并评估了薄膜的物理性能，包括表面观察。我们发现，通过减小薄膜厚度，漏极电流增加，漏电流被抑制到小于1 pA，表明它可以应用于薄膜。这项研究为在塑料上实现高性能晶体管打开了大门，并有望创造出薄、轻、灵活、形状自由的设备。
先生河野说：“我很荣幸在第一次会议演讲中获得如此久负盛名的奖项。我对古天乐代言太阳集团(中国)官方网站大型研究设施（洁净室）进行研究很感兴趣，所以我申请了先进材料和元素科学实验室。感谢您的指导古田守教授（环境科学与工程组），我要感谢实验室里每一位帮助我练习演讲的人。这次，我们能够在玻璃基板上实现与以前相同的性能，因此我想在明年的学习中继续研究以在柔性器件中实现相同的特性。”他表达了获奖的喜悦和愿望。
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